詞條
詞條說(shuō)明
? ?在半導(dǎo)體制造這一**領(lǐng)域,特種氣體(特氣)堪稱 “芯片制造的血液”,從芯片的刻蝕、沉積到摻雜等關(guān)鍵工藝,都離不開(kāi)它們的參與。而承載這些特氣的氣瓶柜,作為特氣存儲(chǔ)與供應(yīng)的關(guān)鍵設(shè)備,其重要性不言而喻。一旦氣瓶柜發(fā)生泄漏,后果將不堪設(shè)想。? ?可能有人會(huì)說(shuō):“不就是一點(diǎn)氣體泄露嗎?通風(fēng)散散就沒(méi)事了。” 但 fab 特種氣體可不是普通空氣,它們大多是高純度、
一、大氣四參數(shù)模塊產(chǎn)品簡(jiǎn)介SGA-100系列大氣四參數(shù)模塊是深國(guó)安電子獨(dú)立研發(fā)和生產(chǎn)的一款,專門針對(duì)大氣環(huán)境、空氣質(zhì)量、垃圾焚燒廠、垃圾中轉(zhuǎn)站、公廁、化工園區(qū)、廠界等目標(biāo)氣體進(jìn)行24小時(shí)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)的一款標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化產(chǎn)品;是深國(guó)安電子運(yùn)用十多年氣體探測(cè)器生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),采用國(guó)外原裝進(jìn)口高精度氣體傳感器,通過(guò)32位微處理器和24位數(shù)據(jù)采集器后,再進(jìn)行全量程進(jìn)行溫濕度補(bǔ)償,然后再用99.999%純度的標(biāo)準(zhǔn)
1. 氫溴酸氣體在半導(dǎo)體行業(yè)的**應(yīng)用:? ? ?在半導(dǎo)體芯片制造的 “前道工藝” 中,氫溴酸氣體主要用于干法蝕刻環(huán)節(jié),堪稱芯片電路的 “精準(zhǔn)雕刻師”。具體應(yīng)用場(chǎng)景包括:硅片圖形化蝕刻在芯片制造中,需要在硅片表面刻畫出精細(xì)的電路圖案。氫溴酸氣體在高頻等離子體的作用下,會(huì)分解產(chǎn)生溴離子(Br?),這些離子能與硅材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),精準(zhǔn) “剝離” 硅片表面不需要的部分,形成
半導(dǎo)體**泵吸式智能氣體傳感器-TTL雙信號(hào)輸出
深國(guó)安氣體傳感器廠家13年專注研發(fā),一站式提供半導(dǎo)體**智能氣體傳感器監(jiān)測(cè)解決方案,其主營(yíng)產(chǎn)品類型包括有可燃?xì)怏w傳感器、有毒氣體傳感器、VOC氣體傳感器、溫室氣體傳感器等。支持檢測(cè)上千種氣體指標(biāo),可以擴(kuò)展溫濕度,氧氣,粉塵等環(huán)境參數(shù),可選配氣體量程不限,技術(shù)原理不限,精度要求不限等;以下深國(guó)安半導(dǎo)體**智能氣體傳感器產(chǎn)品類型目錄資料供大家選型指導(dǎo)。1.智能型氣體傳感器系列?SGA-400半導(dǎo)體**
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