PCO相機助力UV成像———元奧儀器

時間：2026-01-15

作者：廣州市元奧儀器有限公司

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詞條說明
PCO產品助力半導體檢測-元奧儀器提供技術支持
PCO產品助力半導體工業(yè)-提供技術支持微處理器芯片和顯示技術通過更快速、更智能、更纖薄、更美觀的計算機、手機和平板塑造了我們的現(xiàn)代生活。集成電路尺寸的不斷縮小使得硅半導體生產需要更高分辨率的照明和成像，這推動光學系統(tǒng)達到極紫外波長、更優(yōu)越的性能和嚴格的污染控制。針對光刻、檢驗、計量、晶圓對準以及快速熱處理應用，埃賽力達科技提供工具制造商所需的性能、穩(wěn)定性和可靠性。憑借深厚的技術、制造基礎設施和創(chuàng)新
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埃賽力達科技 pco.flim 相機系統(tǒng)——元奧儀器埃賽力達的pco.flim相機系統(tǒng)包括pco.flim相機和pco.flim激光，配備頻域產生調制信號所必須的完整頻率合成器。pco.flim系列采用高頻調制CMOS圖像傳感器，可在適合熒光壽命成像的頻域中對樣品發(fā)光壽命分布進行逐像素測量。在10 Hz的速度下，可以在1 Mpixel分辨率下測量完整的發(fā)光壽命分布。由于耦合靈活且設置方便，pco.
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埃賽力達科技推出長曝光sCMOS相機pco.edge 6.2 LEpco.edge 6.2 LE 可以被認為是深制冷長曝光CCD相機的繼任者。其設計經過優(yōu)化，可實現(xiàn)從幾毫秒到幾分鐘甚至長達一小時的長曝光時間。圖像傳感器在低至 -20 °C 的溫度下保持恒溫，以將暗電流降至低。得益于它的高全阱容量和寬曝光時間范圍，它適用于熒光、化學發(fā)光或天文學等弱光成像應用領域。pco.edge 6.2 LE的主要
PCO相機助力UV成像———元奧儀器
PCO相機助力UV成像——MARIE FREEBODYPhotonics Spectra, Nov 2022（本文為部分節(jié)選）現(xiàn)代電子產品的特征尺寸不斷縮小——接近甚至小于光的波長。為了檢測更小的結構，設備制造商正在尋找新的方法來提高其系統(tǒng)的光學分辨率，其中一種方法是減小照明的波長。過去已將光源移至可見光譜的藍端，如今一些應用正在轉向近紫外、深紫外 (DUV) 甚至極紫外 (EUV)波段。為了應對