詞條
詞條說明
1、機械密封裝置;(1)動環(huán)和靜環(huán)表面須光潔,不得有任何劃傷,密封面的平面度保持 在0.87um之內(nèi)。(2)水環(huán)真空泵密封裝置處軸的徑向跳動應(yīng)小于0.03mm。(3)彈簧無裂紋、銹蝕等缺陷,彈簧兩端面與中心線的垂直度偏差應(yīng)小于5/1000,同一機械密封中各彈簧之間的自由高度差不大于0.5mm。(4)動環(huán)和靜環(huán)密封端面的瓢偏應(yīng)不大于0.02mm,兩端面的不平行度應(yīng)不大于0.04mm。2、 浮動環(huán)密封
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
【真空泵單級旋片式真空泵】產(chǎn)品特點1、單級旋片真空泵低噪音,低震動,工作環(huán)境不會受影響 。2、旋片式真空泵內(nèi)置高效油霧過濾器,所排出的氣體不含油霧。3、采用風(fēng)冷卻,但較大型的真空泵配有冷卻風(fēng)管,利用風(fēng)扇將風(fēng)管內(nèi)的潤滑油冷卻,提高冷卻效果。4、抽風(fēng)量強勁,極限真空可達(dá)到0.01mbar(1Pa)。5、內(nèi)置止回閥及氣鎮(zhèn)閥,可避免停機后泵逆轉(zhuǎn)而造成油逆流及避免高真空環(huán)境下,空氣所含水氣經(jīng)壓縮凝結(jié)成水點,
【工業(yè)真空泵廠家】真空泵的總體結(jié)構(gòu)式
真空泵的總體結(jié)構(gòu)式:真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu):?1、立式結(jié)構(gòu):進(jìn)、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵;?2、?臥式結(jié)構(gòu):泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
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