激光光束器在共焦顯微鏡成像提速

時(shí)間：2022-08-22作者：深圳維爾克斯光電有限公司瀏覽：407

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 多焦點(diǎn)DOE的原理

  深圳維爾克斯專(zhuān)業(yè)代理的多焦點(diǎn)DOE英文名為：Multifocal lens for lasers，衍射光學(xué)元件主要是利用光的波動(dòng)性去設(shè)計(jì)光學(xué)元件，通過(guò)衍射光學(xué)元件表面的微結(jié)構(gòu)去改變光在通過(guò)衍射光學(xué)元件時(shí)光波的傳輸相位從而進(jìn)一步對(duì)入射光進(jìn)行位相調(diào)制, 使光分散在不同的衍射級(jí)次上, 利用這個(gè)特點(diǎn), 通過(guò)對(duì)衍射級(jí)次的設(shè)定, 物距的設(shè)定，從而產(chǎn)生我們所需要的多焦點(diǎn)。衍射光學(xué)元件在對(duì)入射光的位相進(jìn)行調(diào)制的過(guò)

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  在激光加工領(lǐng)域中，普遍需要得到能量均勻分布的正方形的勻化光斑。針對(duì)這一類(lèi)激光勻化需求，我司推出過(guò)雙微透鏡陣列的勻化方案。該方案使用的是兩片子單元為正方形的微透鏡陣列，該方案中的光路調(diào)試過(guò)程中，兩片微透鏡陣列的子單元要求對(duì)準(zhǔn)，對(duì)調(diào)試的精度要求稍微偏高?，F(xiàn)我司推出使用兩片柱面微透鏡得到正方形勻化光斑的方案，降低了對(duì)調(diào)試的精度要求。本文針對(duì)后者勻化方案作了簡(jiǎn)要介紹。常見(jiàn)的雙微透鏡勻化光路，如下圖所示：激

• Optotune可調(diào)焦液態(tài)鏡頭可用于顯微成像應(yīng)用領(lǐng)域

  在顯微鏡行業(yè)，快速Z軸聚焦和圖像穩(wěn)定性一直是一個(gè)艱難的權(quán)衡；由于速度慢（步進(jìn)電機(jī)Z致動(dòng)器）或由于行程和振動(dòng)?。▔弘姸ㄎ黄鳎?，諸如步進(jìn)電機(jī)Z致動(dòng)器或壓電定位器的當(dāng)前技術(shù)正在影響生命科學(xué)業(yè)務(wù)的吞吐量。始終有必要將這兩種不同的技術(shù)結(jié)合起來(lái)，以克服這些瓶頸，從而增加系統(tǒng)的復(fù)雜性和成本。Optotune可調(diào)焦透鏡/電動(dòng)可調(diào)焦透鏡為克服這一挑戰(zhàn)提供了一種多功能、緊湊且經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。由于沒(méi)有平移力學(xué)，液態(tài)

• 線激光元件被用于晶圓檢測(cè)

  在半導(dǎo)體行業(yè)中，極小的表面缺陷和顆粒是一個(gè)主要問(wèn)題，這會(huì)降低產(chǎn)量并耗費(fèi)生產(chǎn)的時(shí)間和成本。因此，檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷和污染至關(guān)重要，這是在半導(dǎo)體計(jì)量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測(cè)的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場(chǎng)/明場(chǎng)顯微鏡來(lái)檢測(cè)缺陷，通常在深紫外（DUV）波長(zhǎng)下檢測(cè)100nm以下的缺陷。在這種方法中，Holoor指出當(dāng)線沿徑向掃描時(shí)，晶圓旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生晶圓的大面積采樣，從而